硅片抛光片与外延片区别是什么? -美高梅app官方下载

三分酒意光伏 2023-09-01 03:35:54 773阅读 山东省济南市 山东财政学院
硅片抛光片与外延片区别是什么?

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1条回答

  • 随雾霭中
    2023-09-01 03:57:54

      根据用途分类,半导体硅片可分为抛光片、退火片、外延片、结隔离片和以soi硅片为代表的高端硅片。

      抛光片可以用于制作存储芯片,功率器件,以及外延片的衬底材料。外延片,是在抛光片的基础上生长了一层单晶硅,一般用于通用处理器芯片,二极管,以及igbt功率器件的制造。由于抛光原始颗粒细微、粒度尺寸小于可见光的波长,所以均匀地分布后形成外观透明或半透明的抛光膜。

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